제품
FSH Scanner
• 3축 Auto System (X-Y/linear, Z/Ball Screw)
• 대면적 검사 가능(300ⅹ300 ㎜)
• 다양한 대상체 샘플 촬영 가능(반도체, PCB, 메모리, 기타)
• FSH 검사 및 계측용 S/W 프로그램 탑재
| 항목 | Specification | 비고 |
|---|---|---|
모델명 |
CBX 1100 |
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Size |
1,350(W) ⅹ1,350(D)ⅹ1,750(H) ㎜ |
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Utility |
단상220V, CDA 3/8" 1 Point |
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Weight |
1,100㎏ |
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Stage X-Y축 구성 |
Linear Motor |
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X-Y축 Speed |
Max 200 ㎜/sec |
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광학계Z축 구성 |
Stepping Motor |
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Z축 Speed |
Max 50 ㎜/sec |
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| FSH 광학계 항목 | ||
Working Distance |
20㎜ |
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Depth Of Field range |
~3㎜ |
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Resolution |
~1㎛ |
lateral optical resolution |
FOV |
1 x 1 ㎜ |
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Laser Source |
532nm / 150mW (CLASS 3B) |
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Scan Speed |
~ 15,000 lines/sec |
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Scan Area |
300 x 300 ㎜ |
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